奈米級平台裝置

慕冰至

奈米級平台裝置

專利名稱：奈米級XY平台裝置
專利證書號：M247827
專利權人：國立台北科技大學
專利國家：台灣, 美國,
得獎事蹟：無
需求項目：技術授權, 專利授權

專利商品特色：       

本專利是採用已經商業化量產之光學讀取頭模組,外加一平台構成，平台位置的偵測是藉由光碟片反射雷射光至光學二極體接收反射信號，再將信號加以運算後而得，透過?授控制器來達成高精密定位的特性，解析度可接近20nm，但成本卻遠低於市售的定位平台。

專利商品技術說明：

本專利使用光學讀寫頭為主要零件來進行XY平台的架設，其中以讀寫頭中之音圈馬達來進行微小平台的驅動；光學感測系統的部分，是以內建於光學讀寫頭內，雷射光路及四象限光感測器的光－電轉換特性，來進行平台位置的量測；在系統機械設計的部份，將載物平台與光學讀寫頭的音圈馬達相結合，並且埋入機構本體中，並以特別裁切之光碟片，固定於機構本體上作為光路反射的一部份，在X軸的部份可以達到約10微米的長行程定位控制，並有20奈米的解析度，在Y軸的部份約有800微米的長行程定位控制，及0.4微米的解析度，透過DSP作為控制的主要單元，整體成本非常低廉，極具市場競爭力。

(eipm發明網)