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艾司摩爾新EUV設備 台廠有望搶先用 台積電 3680家登 6196帆宣
2020-12-07
艾司摩爾(ASML)因應半導體3奈米往下精進兩代製程需求,訂下2022年極紫外光(EUV)設備將再進化的目標,預計該款下世代秘密武器最快2022年推向市場。市場預料,台灣廠商有望領先韓系廠商採用。
艾司摩爾亞太區策略行銷高級總監Boudewijn Sluijk接受訪問時提到,目前該公司EUV設備已協助客戶5奈米大量生產,隨著下世代製程持續微縮,系統必須更精準、速度更快,艾司摩爾已和客戶合作著手下世代EUV微影系統(又稱High-NA EUV)開發。
Boudewijn Sluijk說明,目前EUV至少可支援至3奈米,下世代的EUV則是應對未來往下兩代的製程升級所需,不論客戶對相關製程代號為何,在3奈米未來的下二世代的最先進製程當中,High-NA的EUV系統更能支援客戶需求。
數據顯示,下世代EUV系統將具備創新的光學設計,其光學模組由4萬4,000個零件組成,因此體積將比現行EUV系統的光學模組還大。在解析度與疊對精度上,下世代系統也將提高40%。 |
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