16奈米製程非災害中心點 台積蘋果A9產線未震傷

阿拉布拉

2016-02-08 11:24 經濟日報 記者張家瑋／台北報導

南台灣強震造成台積電生產8吋晶圓的6廠損害嚴重，但生產蘋果A9處理器的14廠16奈米製程非這次災害中心點，可說是不幸中之大幸。

南台灣強震造成台積電南科晶圓6廠及14廠停機，其中6廠8吋晶圓廠損害最為嚴重，短期恐無法順利復工，相關訂單將移至竹科3、5、8廠甚至世界先進8吋廠生產。而14廠為16奈米及20奈米先進製程，其中16奈米主力生產蘋果A9處理器，非災害中心點，故將損失降到最低。

台積電在地震當日，立即調派竹科、中科工程師支援南科，協力廠商也立即前往修復設備，協力廠商指出，由於14廠為新一代廠房及設備，抗震係數較高，而6廠8吋晶圓成立較早，設備較老舊，這次地震6廠損壞較為嚴重，14廠12吋晶圓機台未移位僅晶圓破裂報廢損失。

6廠8吋晶圓主要損壞嚴重在晶圓加熱爐管，機台修復困難，短期復工困難。加熱爐管的主要功能是在晶圓清洗之後，送到熱爐管內，在含氧的環境中，以加熱氧化的方式在晶圓的表面形成一層二氧化矽層，緊接氮化矽層將以化學氣相沈積的方式沈積在剛剛長成的二氧化矽上，然後整個晶圓將進行微影的製程。

故加熱爐管破裂後續曝光顯影製程步驟均停擺，但因第1季淡季，台積電8吋產能仍有閒置，且3、5、8廠同為8吋晶圓可以緊急調配支援產能，若不足可由世界先進支援產能。

也由於台積電此次損害嚴重部分集中在6廠8吋晶圓部分，14廠12吋晶圓損害輕微，約2至3天即可復工，而14廠為16奈米及20奈米先進製程，其中16奈米主力生產蘋果A9處理器，非此次災害中心點，故將損失降到最低，可說是不幸中之大幸。

台積電指出，此次地震對今年第1季晶圓出貨量的影響將不超過1%，95%機台可在2至3天內恢復運作，台積也將立即通知受影響的客戶，並盡補足其受損之晶圓。