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台積電狂掃EUV設備 這3家供應鏈廠商可望持續受惠 6196帆宣、3680家登、3178公準

2021-01-24

進入後摩爾時代，極紫外光(EUV)微影成為推動先進製程向前邁進的關鍵技術，目前包括台積電(2330)、三星(Samsung)、英特爾(intel)等大廠也積極導入EUV。據供應鏈消息，2021年ASML(艾司摩爾)EUV設備出貨量從40台起跳，其中台積電包下至少15台、上看20台，穩居最大客戶；法人看好ASML供應鏈的帆宣(6196)、家登(3680)、公準(3178)等有望持續受惠。

根據摩爾定律，積體電路(IC)上可容納的電晶體數目，大約每18-24個月就會增加1倍，性能也將提升一倍，成本則下降一半。從物理定律來看，電晶體的微縮不可能永無止盡，市場質疑摩爾定律將無法延續；而EUV技術可以減少晶片生產步驟及光罩層數，達到降低成本的好處，因此被視為發展先進製程的重要技術。

台積電從7+製程開始導入EUV技術，跨入新一製程世代，每片晶圓所採用的EUV光罩層數也越來越多。業內分析，台積7+大約需要2~4層EUV光罩層、5奈米約12~14層，3奈米更需要到24層，可見EUV的重要性；而3奈米也拍板non-Pellicle(無光罩保護膜)，不僅更環保，也能讓EUV生產力(Productivity)發揮到極致。


台積5奈米已在南科順利量產，而3奈米的生產基地也在南科，台南可說是EUV重鎮，據悉，目前南科的EUV機台就多達20幾台，由於3奈米新廠將於今夏開始進機，未來將一舉突破30台。再者，Intel、三星也積極布建EUV產能，加上SK海力士等記憶體大廠相繼導入EUV，均將支撐EUV的未來需求。

現在市場已知的EUV供應鏈，包括光罩盒供應商家登、EUV設備模組代工廠帆宣、零組件供應商公準等。其中，帆宣目前在手訂單約243億元，訂單年見度直透年底，法人看好今年營收可望雙位數成長，整體營運表現將再締新猷。

看好半導體需求前景，家登規劃在土城新建廠區，最快2022年底完工，整體產能將較目前提升超過一倍，同時也積極開發晶圓載具新品，並布局航太新事業，有望為公司長期發展增添動能。法人預估，今年家登EUV光罩盒出貨量有望較去年倍增，全年營收拚優於去年成績、續創新高。

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3680家登出貨拚倍增 EUV與DUV 2021營運衝 法人估可賺逾一股本 訂單能見度到第二季底

工商時報 涂志豪 2021.01.26

晶圓傳載方案業者家登（3680）董事長邱銘乾25日表示，看好半導體先進製程全面導入極紫外光（EUV）技術，家登已備妥產能因應今年極紫外光光罩盒（EUV Pod）強勁需求，加上深紫外光（DUV）光罩盒需求強勁，對於今年營運展望非常樂觀。

另外，家登的前開式晶圓傳載盒（FOUP）及晶圓輸送盒（FOSB）出貨持續拉高，除了在晶圓代工市場擴大市占率，也順利拿下中國各地8吋及12吋晶圓廠訂單。

家登2020年合併營收25.04億元，與2019年相較成長5.6％，續創年度營收歷史新高，由於業內獲利受惠於EUV Pod出貨暢旺而明顯成長，加上認列業外處分利益，法人推估家登去年獲利將較前年倍增。至於今年看好EUV Pod年度出貨量較去年倍增，加上FOUP及FOSB出貨明顯放大，法人預估家登今年可望賺逾一個股本。家登不評論法人預估財務數字。

邱銘乾表示，2021年仍有新冠肺炎疫情等外在變數，但半導體市場看來是受惠於數位轉型等新應用而維持強勁成長，而且先進製程微縮趨勢不變，由於晶圓代工廠及IDM廠全力擴建EUV產能，DRAM廠也會在今年採用EUV技術量產，看好今年EUV Pod出貨暢旺。


家登去年布建的EUV Pod產能已進入量產，月產能提升至1,500個，而今年底將可根據客戶需求提高至2,000個。設備業者推估，家登去年在EUV Pod市占率已逾八成，隨著晶圓代工廠EUV產能全線進入量產，全年出貨量可望較去年倍增。至於今年晶圓代工廠、記憶體廠、封測廠產能滿載，DUV光罩盒需求同步拉高並推升營運表現。

另外，家登看好今年FOUP及FOSB等晶圓傳送載具出貨可望創下新高。家登過去幾年出貨平穩，但地緣政治意識去年高漲，包括中芯、士蘭、新芯、聯芯等大陸8吋及12吋晶圓廠轉向家登採購FOUP及FOSB載具，訂單能見度已看到第二季底。

家登過去晶圓傳送載具主要爭取晶圓代工廠或封測廠訂單，但今年預計進一步延伸至矽晶圓廠，打進FOSB輸送盒清洗供應鏈，打破過去日商獨霸的天下，而效益將自今年起顯現。

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