ASML衝2奈米加碼台灣 3680家登 1560中砂 4768晶呈科 4770上品 帆宣

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ASML衝2奈米加碼台灣 3680家登 1560中砂 4768晶呈科 4770上品 帆宣

2023/04/10

荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）宣布在台擴大投資，研發製造2奈米晶圓光學量測設備，並向經濟部申請「A+企業創新研發淬鍊計畫」研發補助。

據了解，經濟部已排定該案在4月中下旬召開第二次審查會議，著重在提升國產自製率，預計全案最快4月底、5月拍板，若順利通過，將有助更進一步強化台灣半導體高階製程供應鏈。

艾司摩爾來台投資，去年11月17日就由蔡總統在臉書發文「預告」。艾司摩爾今年在台投資案，是該公司有史以來在台最大投資金額，新北市長侯友宜先前透露預計落腳林口，第一期投資金額達300億元，約2,000名員工進駐。

艾司摩爾同時向經濟部申請A+企業研發補助案，官員表示，該案已開過第一次審查會議，認為有召開第二次審查會議的必要，已排定在4月中下旬召開第二次審查會。此案是繼美光、輝達後，第三家大型外商來台申請研發製造補助。

據了解，經濟部審查將著重在協助半導體設備供應鏈技術升級以及國產自製率提升，「這是附加條件」。官員說，台灣有大量半導體業者，是主要半導體設備採購地區，艾司摩爾來台投資，策略上希望在材料（包括化學氣體）和設備方面，都能提升國產業者參與。

官員表示，例如艾司摩爾供應鏈包括零組件供應，甚至維修等，希望多給國內廠商機會。例如，目前台廠供應鏈已具備深紫外光（DUV）設備中的光罩傳輸模組製造能力，這次艾司摩爾計畫案也包含晶圓傳輸模組，期盼藉此導入本土供應鏈。

經濟部「A+企業創新研發淬鍊計畫」補助企業投入創新研發和前瞻產業技術開發，每年預算約20億元，目標吸引國際大廠來台研發生產，幫助國內業者打進前段設備的供應鏈。若艾司摩爾案依規定審查通過，政府補助比率低於五成。