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發表於 2009-7-24 01:55:09 |只看該作者 |倒序瀏覽
目前半導體廠,光電,面板

最新一代的製程以及對化學污染物的控制,潔淨度控制的問題

小弟專題目前是在做負離子對為汙染物的應用

有人有用過ION來對為汙染物做控制以及分解VOC等有實務上的經驗過嗎

想請教在class 1000及以下或者是class   1裡用過負離子的經驗


請各位大大有經驗或相關知識都可討論一下
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