大廠3奈米步量產 3680家登歡呼 1560中砂 帆宣 漢唐 閎康

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大廠3奈米步量產 3680家登歡呼 1560中砂 帆宣 漢唐 閎康

2023/03/06

雖然半導體生產鏈庫存去化持續進行，但先進製程推進時程並未放緩，包括台積電、三星、英特爾等3奈米將逐步進入量產，而關鍵的極紫外光（EUV）曝光機亦需升級至NXE：3600D。

由於新曝光機台搭配的極紫外光罩盒（EUV Pod）必須全面升級至第二代（phase 2），家登（3680）已率先完成認證，不僅下半年開始放量出貨，且平均銷售價格（ASP）較前代提高10～15％。

雖然2023年半導體市場能見度低且不確定性高，庫存去化最快要等到第二季才能解決，但包括台積電、英特爾、三星、SK海力士、美光等全球前五大半導體廠仍積極投資EUV產能。而在先進邏輯製程部分，今年3奈米進入量產階段，最新曝光機NXE：3600D已全面導入生產，在每平方公分30毫焦耳（mJ）的光源輻照能量情況下，每小時晶圓產出已達160片，較上一代機型提升18％。

設備業者說明，3奈米製程已進入量產階段，新一代微影曝光機NXE：3600D需要更換全新的第二代EUV Pod，全部的EUV Pod都需要升級。

法人表示，家登第二代EUV Pod已獲艾司摩爾（ASML）認證，下半年將開始量產出貨，且新款EUV Pod價格較上代提高10～15％，有助於家登營運更上層樓。

而ASML日前說明EUV技術及曝光機技術藍圖，以目前主流的0.33數值孔徑（NA）來說，2021年晶圓代工5奈米製程每片晶圓平均光罩層約逾10層，但2023年製程進入3奈米之後，每片晶圓平均光罩層約將倍增達20層，可望帶動EUV Pod需求明顯增加，法人預期家登約8成市占率將帶來顯著成長動能。

家登公告今年1月因農曆春節導致工作天數減少，單月營收降至3.14億元，較去年同期減少6.9％，若扣除去年第二季出售的吳江新創汽車營收，則1月營收較去年同期呈現年增。以家登在手訂單來看，預期第一季營收會逐月成長，全年營運亦會逐季成長，對今年營運維持樂觀看法。

法人表示，家登EUV Pod產品通過認證，新產品出貨比重拉高有助提升整體ASP，加上前開式晶圓傳送盒（FOUP）接單暢旺，看好家登今年光罩載具市占提升至八成，晶圓載具市占提升至五成，自動化設備市占提升至1成，樂觀預估未來三年營收年複合成長率可達20％。家登不評論法人預估財務數字。